东北光学所，接到了一个光路系统的研制要求，要求的发起方，来自十二机部，至于是做什么用的，并没有说明。

　　要求非常贴心的分为了两级，实现过程也就分成了两步。

　　第一步，是将波长355nm的激光束扩散为直径160mm的平行光束。

　　第二步，是将这束扩散后的平行光束，将光路中的玻璃板上图像重新缩微投影为一个20mm的光斑。要求缩微投影后，图形变形不超过5微米，越小越好。

　　这个要求说简单那不简单，说麻烦嘛，好像也不是非常麻烦，正好卡在好像努力一下就能够的着的程度。

　　对于搞技术的人来说，这种要求是最舒服的，既不会没有挑战性和成就感，又不会要求太高难以实现。

　　而且对方明确说了，分两步实施，第一步做出来就先提交第一步，第一步尽量快，第二步可以慢慢做，但是质量一定要稳。

　　还能分步提交成果，这就更舒服了。

　　甚至对方还非常贴心的，送了一台激光器过来，正是355nm激光光源。

　　这个不是红宝石激光器，本来是高振东为激光测距准备的YAG（钇铝石榴石）激光器，这东西功率比较容易做大，而且波长根据掺杂可调。

　　这正是高振东和1274厂集成电路工艺研究中的一部分，这個东西一看就知道，用于光刻机的光路系统。

　　把整个光路系统分成两步，正是高振东的主意。

　　第一步，相对简单一些，可以用于接触式或者接近式光刻机，这两个都是直接投影的，模版的分辨率多少，实际分辨率大约就是多少。

　　而第二步困难一些，等东北光学所慢慢搞就行，这是预想用于投影式光刻机的，搞个一年两年三年的都不是什么问题，搞不出来，接近式光刻机也够用了，搞出来了，那就纯赚了。

　　与此同时，某化学研究所，搞有机材料的同志也接到了十二机部关于光敏材料的研究要求，研究要求明确指明了，光敏材料可以是光聚合型、光分解型、光交联型中的一种，用于激光感光成像，工作光波长355nm。

　　十二机部还送来了一台激光器，以及简单的激光扩散配件，用作试验过程中的光源。

　　说实话，研究所的同志，还是第一次看到要求这么明确，连技术路线都给说得明明白白的要求文件。

　　甚至光交联型这种，他们也是看了要求文件里面的解释才搞清楚是个怎么回事儿。

　　要是所有的需求方都像这一家这样就好了，化学研究所的同志美滋滋的想，还能学东西！

　　其实这是高振东没办法，他不知道现在到底哪一种能搞成，总之65年这东西是有的，干脆把几种常见的光刻胶的路线都给写了上去，你做出来哪种算哪种，无非就是正胶负胶的区别，都能用。

　　一个技术

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